Na polju proizvodnje poluvodičkih ili ekrana sa tečnim kristalima, integracija uređaja povećala se posljednjih godina. U proizvodnji uređaja koji se naziva integrirano kolo velikih razmjera potreban je fini uzorak od 1 mikrona ili manje. U takvom proizvodnom procesu, sitna prašina ili vrlo mala količina nečistoća plina talože se ili adsorbiraju na ožičenju, što dovodi do kvara kruga. Stoga je potrebno da u tim plinovima mogu postojati i reakcijski plin i plin nosilac visoke čistoće, odnosno samo nekoliko čestica i nečistoća plina. Iz tog razloga, potrebno je da kapilarna cijev ili element od nehrđajućeg čelika koristi takav plin visoke čistoće, a njegova unutarnja površina koristi se kao zagađivač za ispuštanje zagađivača, sa minimalnom količinom čestica i plina. Osim inertnih plinova poput dušika i argona, mnogi plinovi koji se nazivaju i posebni plinovi također se koriste kao plinovi za proizvodnju poluvodiča. Primjeri specijalnih plinova uključuju korozivne plinove kao što su klor, klorovodik i bromovodonik, te kemijski nestabilne plinove kao što je silaža. Prvi zahtijeva otpornost na plinsku koroziju, dok drugi zahtijeva ne-katalitičke performanse.
Do sada je, kako bi se smanjilo taloženje ili adsorpcija prašine ili vode, unutarnja površina dijela koji se koristi za proizvodnju poluvodičkog plina bila zaglađena sve dok njegova Rmax površinska hrapavost nije 1 mikrona ili manje. Hladno izvlačenje, mehaničko poliranje, hemijsko poliranje, poliranje ili njihova kombinacija mogu se koristiti kao metoda za zaglađivanje unutrašnje površine ili dijelova cijevi. Međutim, vrlo glatki materijal vrijednosti 1 mikrona ili manje uglavnom se dobiva elektrolitičkim poliranjem. Unutarnja površina cijevi ili slično zaglađuje se, zatim čisti vodom visoke čistoće i suši plinom visoke čistoće kako bi se dobio konačni proizvod.
Zavarivanje se općenito koristi pri zavarivanju. To je zato što zavarivanje može osigurati visoku čvrstoću i dobru zrakopropusnost cjevovoda. Kod polaganja cjevovoda inertni plin visoke čistoće, obično argon, koristi se kao zaštitni plin, a njegova unutarnja površina dolazi u dodir s plinom visoke čistoće kroz cjevovod kako bi se izbjeglo zagrijavanje dijela zagađenja i oksidacija na visoke temperature što je više moguće . Osim toga, pri polaganju cjevovoda cjevovod se čisti argonom ili dušikom visoke čistoće kako bi se uklonile te čestice i ostale u cijevi. Kada je cjevovod dug i složen, poput cjevovoda, potrebno je nekoliko dana do nekoliko sedmica. U posljednje vrijeme snažno se traži smanjenje troškova izgradnje pogona za proizvodnju poluvodiča i ranog pogona. Kako bi se ispunili ovi zahtjevi, sada je potrebno skratiti vrijeme čišćenja.
Osim gore navedenih svojstava, cijevi i plinski elementi visoke čistoće moraju imati mogućnosti zavarivanja, površinu spoja potrebnu za mehaničke brtve i otpornost na habanje; kada se obrađuju dijelovi poput spojeva, potrebna je Mach slabost. S druge strane, bilo je poznato da se posebni plinovi otporni na koroziju i nekatalitička svojstva, koji su potrebni za proizvodnju poluvodičkih cijevi ili sličnih plinova, mogu poboljšati zagrijavanjem površine od nehrđajućeg čelika na takav način da atmosfera, na takav način u atmosferi se kontrolira parcijalni tlak kisika. Vrijedi napomenuti da je u ovoj literaturi objektivna tvar cjevovoda prijavljena kao nehrđajući čelik SUS 316L.
Gore spomenuta potrebna otpornost na koroziju i nekatalitičke performanse nisu samo za plinovode. Ista potražnja je napravljena i od nehrđajućeg čelika koji se koristi u različitim uređajima za proizvodnju poluvodiča, od kojih jedan ima finu obradu pločica. Austenitni nehrđajući čelik, posebno tip SUS 316L, uglavnom se koristi kao materijal za cijevi i drugu opremu. Japanska patentna publikacija Kokai br. 161145/1988 otkriva nestandardni visoko čisti čist austenitni nehrđajući čelik od čeličnih cijevi koji se koristi u čistim prostorijama. Nemetalni uključci ograničavaju smanjenje sadržaja mangana, silicija, aluminija i kisika, čime se smanjuje stvaranje čestica s unutarnje površine cjevovoda.
Osim toga, Japan je objavio Patentnu publikaciju br. 198463, 1989/, koja otkriva član od nehrđajućeg čelika za opremu za proizvodnju poluvodiča. Ovi elementi oksidiraju plin nakon elektrokemijskog poliranja nehrđajućeg čelika. Pod određenim uvjetima na njemu se formira oksidni sloj debljine 100 do 500 angstrema koji se zagrijava na takav način da je broj Ni atoma u vanjskom dijelu proporcija